TiN Hardmask PVD是集成电路制程中的一道重要工艺步骤，北方华创微火狐电竞app 基于多年集成电路PVD设备技术积累，针对性开发了exiTin Ⅱ H430 PVD设备，用于14 纳米TiN Hardmask薄膜沉积工艺，设备以全新的设计理念实现了多项技术突破。

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