近日，北方华创微火狐电竞app 成功获得了位于苏州的一家知名化合物半导体公司批量采购订单，订单包括了ELEDE 330SG刻蚀机、SW GDE C200刻蚀机、 EPEE550 PECVD在内的数十台设备。北方华创微火狐电竞app 提供的设备将用于该公司扩产5G基站用氮化镓功放芯片项目，作为中国高性能氮化镓芯片IDM领先企业，该项目将为我国5G通讯基础设施建设提供保障。此次是北方华创微火狐电竞app 在宽禁带化合物半导体领域的重大突破，具有里程碑意义。

北方华创微火狐电竞app ELEDE 330SG刻蚀机是宽禁带化合物半导体领域的关键设备, 应用于正面工艺中的台面刻蚀，SiNx栅槽刻蚀，GaN、SiNx极慢速低损伤刻蚀。火狐电竞app 结合独特的离子源设计、高精度低输出的下电极和多片大产能的托盘设计，实现精确的刻蚀速率控制和良好的工艺均匀性控制，满足不同制程的工艺要求，多项关键指标领先行业水平，成为了行业标杆火狐电竞app ，是客户扩产的首选设备。

SW GDE C200系列单片刻蚀机，可实现SiC深孔的高速、均匀刻蚀，具备高MTBC的优点，通过独特的工艺调节可实现圆滑的刻蚀形貌控制，目前该设备已通过客户技术验证，获得市场高度认可，在中国宽禁带化合物半导体市场占据首席之位。同时，SW GDE C200系列刻蚀机也是SiC MOSFET 栅槽刻蚀和SiC二极管小角度台面刻蚀的完美解决方案，除了SiC材料，该设备还可应用于SiO2、SiN材料的刻蚀，其灵活的配置可满足研发/中试线/量产的要求。

EPEE550 PECVD可用于宽禁带化合物半导体器件钝化层、结构层、牺牲层等应用，采用自主开发的高温混频技术，可实现高致密性、低应力、高均匀性的薄膜沉积，助力客户提高火狐电竞app 性能。截至目前，该设备国内销量已超过百台。

此外，在宽禁带化合物半导体领域，北方华创微火狐电竞app 还可以提供SiC晶体生长设备、高温氧化炉、清洗机等多种关键工艺装备。

5G商用时间表正在加速推进中，作为5G不可替代的核心技术，具有高频率、高功率特性的GaN宽禁带半导体产业将迎来发展机遇。北方华创微火狐电竞app 凭借丰富的设备工艺技术储备，为该领域提供了一系列高竞争力的关键工艺装备解决方案，本次能够得到企业大客户的批量采购订单，也充分验证了北方华创微火狐电竞app 卓越的火狐电竞app 实力。北方华创微火狐电竞app 将继续秉承以客户为导向的持续创新，与客户携手并进，共同开拓产业发展新蓝图。